应用材料公司EBR检视系统加速新型显示器工厂产

　　近日，应用材料公司在“北京2016国际显示高峰论坛”上展示了他们面向显示行业的高分辨率在线电子束检视(EBR)系统，该系统能显著提高、液晶屏制造商良率提升的速度，更快地将新型显示产品推向市场。

　　图1 应用材料公司平板显示设备高分辨率在线电子束检视(EBR)系统

　　随着显示产业的增长和技术的变革，消费者对显示产品的视觉需求越来越高，这反应在电视及手机等消费电子产品上的高解析度和尺寸的增长。以电视为例，解析度从HD发展到如今的4K，预计将来会出现8K，甚至更高的解析度;尺寸上，也从之前的40英寸一直发展到现在的55英寸，未来预计还会有70英寸甚至更大的电视出现，电视平均尺寸每年以1.5英寸的速度增长，这意味着每年需要增加三座工厂。55英寸以上电视需求的上升，也将推动10代线及更高世代产线的投资和发展;手机，其解析度和尺寸的变化趋势也同电视一样不断增加，而相应的技术也逐渐从LCD转为或柔性，甚至形状上也从直板到柔性、卷性，甚至折叠式。应用材料公司副总裁，大中华区面板业务总经理郭怡之称“从视觉上的要求将会带来技术上的差异化，第一个是背板技术，将会从非晶硅转换为低温多晶硅或是金属氧化物，这两种技术的电子迁移移速率都比较快，因而晶体管可以做的比较小，可以满足高分辨率和尺寸上的需求;另外一个是在显示屏上看到越来越多的OLED的需求，包含硬板的OLED和柔性的OLED，这一显示屏的趋势将为应用材料公司提供了一个很好的发展契机。”

　　图2 显示技术的发展

　　随着半导体制程进入次微米，上世纪90年代，扫描电子显微镜检视解决方案(SEM)取代了光学检视，如今半导体工艺制程的在线SEM检视率为90%。目前显示行业， 我们仍依赖传统离线SEM，而离线SEM检视技术现在仍面临以下不足：

　　1)需要镀金属/C60镀膜;2)检视过程需损坏产品;3)检视周期长;4)样本率低;5)信息流失，客户无法得到完整信息。

　　应用材料公司用于OLED和高分辨率LCD的电子束检视系统结合半导体技术平台和SEM显示技术，克服了离线SEM检视技术的不足，可以低电压、无损伤、快速地完成检视的整个流程。“由于离线SEM技术需要对样品切割、镀膜等步骤，这不仅损坏了器件，还会大大降低工作效率，对于一个熟练的技术员，一天最多只能检测20个样本，而EBR不需要切割玻璃和镀膜，一个技术员一天可以完成上千点样本检测，检测到的缺陷可以继续后续制程的处理，观察该缺陷是否是致命缺陷。同时，EBR系统可以检测到AOI(Automatic Optic Inspection，自动光学检测)设备无法检测到的缺陷，能够更精准地检测缺陷。”应用材料公司显示产品事业部良率技术部总经理Peter D. Nunan介绍称，“对于我们来说，速度是最重要的，现在一个小时可以检测一百个缺陷，未来十年内我们将不停地加快速度，对于我们的客户来说，EBR系统将会成为他们应对新技术挑战，提高产能和产品良率的利器，减少解决难题所需的时间。”

　　图3 EBR系统加速检测速度和良率爬坡