传感器的基本物理效应
时间:2023-09-25 22:56 来源: 作者: 点击:次
| 包括微可以实现的种类很多，从原理上讲都以物理、化学及生物的各种规律或效应为基础。因此了解所基于的各种效应，对学习、研究和使用各种（特别是物性型）是非常必要的。表1列出了部分物性型传感器的检测对象及所基于的，如果读者想了解更广泛和深入的内容，请参考其他文献。 表1 一些物性型传感器的基础效应 (责任编辑：admin) |
- 上一篇：硅-硅直接键合工艺
- 下一篇：NEMS-纳机电系统
| 包括微可以实现的种类很多，从原理上讲都以物理、化学及生物的各种规律或效应为基础。因此了解所基于的各种效应，对学习、研究和使用各种（特别是物性型）是非常必要的。表1列出了部分物性型传感器的检测对象及所基于的，如果读者想了解更广泛和深入的内容，请参考其他文献。 表1 一些物性型传感器的基础效应 (责任编辑：admin) |